SJT 31082-1994 真空镀膜设备完好要求和检查评定方法
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ID： |
8F1C02F6D3CD4E938FA862458D19AB3E |
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文件大小(MB)： |
0.29 |
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页数： |
3 |
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日期： |
2024-7-28 |
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中华人民共和国电子行业标准,真空镀膜设备完好要求,SJ/T 31082-94,和检査评定方法,主题内容与适用范围,本标准规定了真空镀膜设备的完好要求和检査、评定方法,本标准适用于极限広力在lXlOT—ixio-'pa范围内的各种型号真空镀膜设备,2完好要求,2.I 主要技术性能,真空镀膜设备的主要技术性能指标完好要求,见下表,真空镀膜室规格,(宽度ー箱式、内径ー钟罩式),320,500,600,630,700,800.900,1000,1200,1250,1400,1600,1800,2000mm,参数名称参 数 数 值,真,空,指,标,分 档A B C,极限压カ(pa),从大气压抽至丒,<5X1O-4,从大气压抽至,45X107,从大气压抽至,&X1QT,恢复真空(pa) 7X10- 7X10-2 2X10T,抽气时间,镀膜室容积W1M3 K20min =C15min 0丄5min,镀膜室容积,430min 420min 420min,2.2 操作系统,各操作开关、按扭启动灵活,标志齐全、明显,2.3 真空系统,2.3.1 机械泵、扩散泵、压缩机等工作稳定可靠,运行时无抖动、无冲击、无异常噪音。压缩机、,扩散泵运行正常,机械泵的完好要求,应参照SJ/T 31412-94W型真空泵执行,2.3.2 各电磁阀、气动阀、手动阀、热偶计、等工作正’常,性能完好,2.3.3 真空管路整齐清洁,连接牢固,密封性好,无泄漏,2.3 -4多种仪表、热偶计等齐全、完整无缺损,指示灵敏,准确、可靠,有有效期内校验合格证,2.4 传动系统,2.4.1 各传动机构零、部件无松脱现象,传动灵活,不得有卡、滞、松、抖等现象,升降机构动作,时应平稳、无抖动,中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准1994-06-01 实施,1 —,S.I/T 31082-94,2.4.2 动密封点密封性好,传动时不得有泄漏现象,2.4.3 在被镀件加热过程中,设备应能正常连续工作,包括传动运动件应转动自如,2.5 电气系统,2.5.1 电气系统装置齐全,管线完整;电气性能灵敏,运行可靠;保护装置齐全、有效,2.5.2 外部导线线路整齐,绝缘层无破裂、无老化、无漏电现象;各端子联接牢固无松动,2.5.3 电气箱内清洁,布线整齐,标志齐全、明显,各端子联接牢固、无松动,线路绝缘应无破,损、无老化、无漏电现象,2.5.4 各指示灯、按钮、开关齐全、完整,指示准确,工作可靠,2.5.5 各电压、电流表指示灵敏、准确、可靠,有有效期内校验合格证,2.6 安全防护,2. 6.1设备配套的电气装置中,各电气回路的绝缘电阻值,当电压小于500V时,为2M。;当,电压在501~1000V时,应不低于2. 5M。;当电压在!001~3000V时,应不低于3. 5M0；当电,压在3001~10000V时,应不低于6MQ.,2.6.2水冷系统的报警装置、联锁保护装置灵敏、可靠,2.6 . 3对装设电动阀门的设备,真空镀膜室充气阀与高真空阀、高真空阀与预抽阀应保持联,锁,完全、可靠,2.7 冷却系统,2.7.1 冷却系统装置齐全,管道整齐,联接牢固、密封性好,无漏水现象,2.7.2 水泵、交换器、循环水泵等性能良好,工作正常,无锈蚀、无直线状流水、无“卡死”现象;,运转时,无异常噪音,2.7.3 冷却水清洁。使用循环水冷却时,储水池（或箱）,应清洁、无杂物,2.8 维护保养,按SJ/T 31002—94《设备维护养通则》执行,3检査、评定方法,3.1 检査方法,3.1.1 技术性能参数的检测,按下列方法进行,3.1.1.1 真空极限压カ的测试:,镀膜室内极限压カ值,应在开机后24h内测定,且应在镀膜室内压カ变化值,在0. 5h内不,超过5%的条件下确定（此时,各动密封部位应处于运动状态）。取其达到的最低压カ值为极限,压カ值,3.1.1.2 镀膜室恢复真空抽气时间,设备在连续工作的条件下,在镀膜室内压カ达到极限压カ之后,打开镀膜室15min,再抽,至本标准上表中所规定的真空度所需的时间,定为设备的恢复真空抽气时间,3.1.1.3 有效加热区加热均匀度,在有效加热区内至少测量三点温度值（能反映最大温差的均布的三点）,取所测温度的平,均偏差作为加热均匀度。测温应在达到所定最高烘烤温度lOmin后进行,并三点同时测量（允,许使用转换开关）,2 —,SJ/T 31082-94,3.2 评定方法,3. 2.1完好要求中,主要项目有:2.1中“真空指标”和2. 3.1~2. 3. 4、2. 4. 2.2. 5.1~2. 5. 2、,2. 6.1-2. 6. 3其余为次要项目,3.2.2 主要项目有一项不符合要求,为不完好设备;次要项目有二项不符合要求,亦为不完好,设备,3.2.3 完好设备的维护得养,应达到优等设备标准,附加说明:,本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出,本标准由国营南光机器厂组织起草,本标准主要起草人:王洪波,一 3 一……
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